一、洁净度需求:由于生产工艺种类繁多,对洁净度等级需求也不同,高的很高,低的很低;对粒子粒径控制的需求也不同,范围约为0.1~5um。
二、温湿度需求:某些工艺对温湿度控制的需求相对较高,如集成电路前道工序一般需求室内温度基数为22℃(精度±0.1~±1℃),相对湿度基数为40%(精度±2~±5℃。
三、抗静电、抗微振的需求:某些工艺需要对生产车间进行静电、微振处理、电磁干扰处理等。
四、噪声级需求:一般电子净化车间噪声
五、照明需求:洁净区照度不小于300Lux。
六、防火等级需求:电子净化车间一般按高于二级耐火等级设计。
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